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HTL-3L-供氣(混氣)系統
  • HTL-3L-供氣(混氣)系統
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-01-08 21:00:04

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    號:HTL-3L


產品簡介:

本供氣(混氣)系統可用于多種氣體單一/混合連續供氣系統,尤其方便多種氣體的切換混合使用;氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,操作方便;每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全可靠!

本系統廣泛用于CVD供氣系統,氣體保護燒結,氣體保護退火等。


主要特點:

1.本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其是方便三種氣體切換使用,而不會造成大氣進入加熱爐管。

2.氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。

3.每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證。

4.顯示流量準確,可有效地控制氣體消耗量。

5.所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。


技術參數:

氣路通道:3(可根據客戶需求設計1-8通道)

氣路流量控制器采用質量流量計控制:

標準量程(N2  200500 SCCM

          :±1.5%

            :±0.51.5%

        :±0.2%

        :氣特性  14 See

                  電特性  10 See

工作壓差范圍    0.10.5 MPa

zui        3 MPa

            :Φ6,1/4

            4位數字顯示

工作環境溫度:5~45

高純氣體不銹鋼管:Φ6X Φ4

壓 力 真 空 表  :-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

          :Φ6

備注:可選配質量流量計

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