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通過光波確定限值
但是,表現(xiàn)光學(xué)顯微鏡性能的不僅僅有放大率,還有分辨率。分辨率指對兩個(gè)緊密相鄰的點(diǎn)分辨的能力。根據(jù)瑞利(Rayleigh)定律,能夠分別成像的兩個(gè)點(diǎn)之間的最小距離大約相當(dāng)于光波長的一半。
λ=光波長
n=標(biāo)本和物鏡之間的介質(zhì)的折光率
α=物鏡孔徑角的一半
因此,對于藍(lán)光,分辨率限值約為d=0.2μm;對于紅光,d=0.35μm左右。UV物鏡的分辨率略低于0.2μm。肉眼無法區(qū)分小于0.2mm的結(jié)構(gòu)。
n×sin α的數(shù)值對應(yīng)于數(shù)值孔徑(NA),即表示聚光能力和物鏡分辨率的量度。由于孔徑角不能超過90°,折光率永遠(yuǎn)大于等于1(nair=1),所以大氣中的NA始終在1左右。如果采用油浸的方式(n>1),數(shù)值孔徑將增加(達(dá)到約1.45),分辨率也將隨之升高。
圖1:可見光光譜
因此,對于藍(lán)光,分辨率限值約為d=0.2μm;對于紅光,d=0.35μm。UV物鏡的分辨率略低于0.2μm。肉眼無法區(qū)分小于0.2mm的結(jié)構(gòu)。
圖2:物鏡的數(shù)值孔徑?jīng)Q定了圖像的具體分辨率和亮度
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放大率并非越大越好
為了使人眼能夠觀察到顯微分辨率,目鏡中出現(xiàn)的圖像應(yīng)具有相應(yīng)的放大率。分辨率和放大率始終直接相關(guān)。放大率低的物鏡具有低數(shù)值孔徑,因此分辨率低。
高倍物鏡的數(shù)值孔徑也很高,如果是40倍干式物鏡,則數(shù)值孔徑通常為0.8。但由于數(shù)值孔徑增加到某個(gè)特定點(diǎn)后無法繼續(xù)增加,所以在傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡中,可用的放大范圍也是有限的。“有用"的顯微鏡放大率在500×NA和1000×NA之間。
一些光學(xué)顯微鏡聲稱具有極大的放大率,但實(shí)際上最高還不到1400倍。專家將超出該范圍的一切倍率都稱作“無效放大率"。雖然看似放大了結(jié)構(gòu),但并沒有進(jìn)一步分辨細(xì)節(jié)部分。
圖3:含10%鈷的硬質(zhì)合金(亞微米結(jié)構(gòu),初始晶粒度為0.6µm),用于生產(chǎn)重型工具。左:通過干式物鏡觀察,NA=0.90,右圖:通過油浸物鏡觀察,NA=1.30(由Konrad Friedrichs GmbH & Co KG, Kulmbach, Germany提供
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