Horiba直接注入式汽化器VC-1420
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 上海進佳科學儀器有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/3/6 21:26:02
- 訪問次數 175
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價格區間 | 2萬-5萬 | 應用領域 | 食品,生物產業,電子 |
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液體 | 可用于不銹鋼材質的液體 | 氣體 | Ar |
汽化能力 | 5g/min(TEOS) |
Horiba直接注入式汽化器VC-1420
直接液體注入系統
在半導體測試工藝過程中控制氣體比例和濕度平衡相當困難,可以通過以下產品達到準確的氣體平衡和氣體濕度:氣體 MFC(SEC-Z512MGX、N112MGX、)、液體 MFM(LF-F20M-A)、汽化器(MV-2000)。
Horiba直接注入汽化器VC-1420能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源,組建更緊湊的汽化系統。
HORIBA 可為您提供由 Horiba直接注入式汽化器VC-1420和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統:
· 一種用于流量測量的液體質量流量計
· 一種用于蒸氣流量測量的高溫質量流量控制器
· 閥門、過濾器、加熱器等
特征
· 尺寸緊湊
· 可安裝在各種位置
· 暢銷的 TEOS 汽化系統
· 結合 SEF 或 LF,可實現數字控制
· 無需特殊鼓泡罐或汽化罐
· DeviceNetTM 型產品系列
· 符合 RoHS 標準
技術參數
外形尺寸圖
HORIBA 是高性能汽化系統的供應商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個半導體制程,可以安全有效地將液相化學品以氣相形態輸送至使用點。無論液態化學品是需要在真空下還是大氣壓下汽化,HORIBA 的汽化技術都能提供符合要求的汽化系統。包括:汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。
暢銷型號:VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.
汽化器注入式方法
以下是將液體源氣化并輸送入反應腔的主要步驟。
1.測定液體源的流量,并通過反饋電路,控制閥門開度。
2.液體瞬間全部氣化。
3.氣體被釋放,且不會變回液相狀態。
氣化系統采用注入式的方法繼而按以上1,2,3步進行傳輸。
汽化器VC-1420采用內置質量流量計測量液體流量,因此不再需要其他載氣。
汽化器VC與其他設備組合使用
汽化器MI-1000、汽化器MV-2000需要配置液體流量計LF-A、載氣流量控制器SEC,來實現液體源汽化。
金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)
先進的高精度過程控制儀器用于高產量 MOCVD 應用
電力電子領域的許多行業使用金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)作為激光二極管、LED和半導體制造的標準工藝。MOCVD工藝是一種成熟的可控合成方法,它使用了多種MO源,如三甲基銦(TMI)和二乙基鋅(DEZ),需要一種穩健的傳遞方法,以確保沉積過程的重復性和高收率。MOCVD系統利用起泡器汽化,從而控制MO源濃度、生長時間和生長速率。部分MO源用載氣流帶出源瓶,并從起泡器流向腔室。在這個過程中捕獲的MO源的濃度必須是已知的,而且最重要的是必須具有重復性,以提供最大的工藝效率。實現這一目標需要精確、快速和理想的過程變量的閉環控制,包括氣體流量、溫度和壓力。