MFC300-03D 氣體質量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
MFC300-03D 氣體質量流量控制器
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號 MFC300-03D
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/17 20:35:10
- 訪問次數 54
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產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
---|---|---|---|
價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
應用領域 | 綜合 |
MFC300-03D 氣體質量流量控制器工作原理
產品特點
超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應
高重復性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
主要參數
- 介質要求潔凈干燥無腐蝕性氣體
- 氣體種類Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
- 量程0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
- 測量和控制范圍0.2%-100%F.S. (1:500)
- 準確度±0.5%F.S.
- 重復精度±0.5%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 分辨率0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
- 傳感器響應時間5ms
- 控制響應時間300ms
- 預熱時間≤1s
- 閥門常閉式
- 泄漏率1*10-11Pa.m3/sec He
機械特性
- 最大工作壓力1.1 MPa(11bar)
- 工作壓差范圍0-1 MPa
- 工作溫度范圍0-65℃(環境和氣體)
- 溫度范圍0 - 98%無凝露
- 氣路接頭類型快插、快擰、卡套、VCR(可選)
- 氣體接觸材質氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
- 密封材質氟橡膠 FKM
- 防護等級IP40
- 安裝方式任意方向安裝
- 固定孔M4 ↓ 5mm
- 重量0.38kg
電氣和通訊
- 電氣連接接口類型DB-9 male
- 輸入輸出阻抗輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<600Ω
- 數字信號Modbus RTU(RS232,RS485),CAN
- 量程0-2,10,20,30,100,300,500sccm
0-1,2,5,10,20,30slpm - 通信速率9600(默認),14400,19200,38400 bps(用戶可修改)
- 電源15-40 VDC,100 mA
特征
- 標況20℃,1 atm
- 氣體選擇可選,具體參考說明書氣體系數
- 軟件Aitoly分階流量軟件
尺寸
滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
5 sccm~5 slpm | 66.20 mm | 51.00 mm | 39.00 mm | 43.70 mm | 27.40 mm | 4.30 mm | 5.80 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.38 kg |
2.606 in | 2.008 in | 1.535 in | 1.720 in | 1.079 in | 0.169 in | 0.228 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈0.84 lb |
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