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化工儀器網>產品展廳>工業在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>氣體流量計>MFC300-03D 氣體質量流量控制器

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MFC300-03D 氣體質量流量控制器

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愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電 子設備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成 。總部蘇州愛拓利位于蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能 制造創新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,位于無錫新吳區清源路20號大學科技園 。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業從事氣體質量流量測量與控制 。 愛拓利擁有自己的研發團隊,具有高水平的產品設計、結 構、硬件和軟件等研發能力,是國內少數能夠自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企 業 , 更是國內極少數能夠自主研發生產氣體流量計及流量控制器核心部件( 高精度氣體流量傳感器和高穩定性微型比例閥 )的氣體流量控制產品生產廠家。愛拓利質量流量計及控 制器被廣泛應用于半導體、光 伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、精度分析儀器 、石化、制氣 、醫療 、食品 、工業自動化控制等行業。在不斷追求創新和突破的同時,愛拓利十分注重產品品質。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質量控制體系,并通過了ISO9001質量體系認證。通過標準化生產,規范化管理 ,愛拓利持續穩定地向顧客提供高質量的合格產品。通過多年的研發、生產和應用經驗積淀,愛拓利先后推出了多款氣體質量流量計和控制器。支持多種通訊協議,氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應速度快、性能穩定 。

氣體流量計

產地類別 國產 產品種類 質量式
價格區間 面議 介質分類 氣體
應用領域 綜合


MFC300-03D 氣體質量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體質量流量控制器
MFC300-03D 氣體質量流量控制器工作原理


產品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置


主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 量程
    0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式
  • 泄漏率
    1*10-11Pa.m3/sec He



機械特性
  • 最大工作壓力
    1.1 MPa(11bar)
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    0-65℃(環境和氣體)
  • 溫度范圍
    0 - 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    快插、快擰、卡套、VCR(可選)
  • 氣體接觸材質
    氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
  • 密封材質
    氟橡膠 FKM
  • 防護等級
    IP40
  • 安裝方式
    任意方向安裝
  • 固定孔
    M4 ↓ 5mm
  • 重量
    0.38kg



電氣和通訊
  • 電氣連接接口類型
    DB-9 male
  • 輸入輸出阻抗
    輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<600Ω
  • 數字信號
    Modbus RTU(RS232,RS485),CAN
  • 量程
    0-2,10,20,30,100,300,500sccm
    0-1,2,5,10,20,30slpm
  • 通信速率
    9600(默認),14400,19200,38400 bps(用戶可修改)
  • 電源
    15-40 VDC,100 mA



特征
  • 標況
    20℃,1 atm
  • 氣體選擇
    可選,具體參考說明書氣體系數
  • 軟件
    Aitoly分階流量軟件



尺寸
滿量程深度ABCDE重量
5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



氣體質量流量控制器
產品選型
氣體質量流量控制器





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