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光學元件形貌測試系統

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 徠飛光電科技(深圳)有限公司坐落在深圳國家科學城-光明中心區,是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的企業,為國內高校及企業研發提供光電設備及集成方案的供應商。

徠飛光電致力于引進全世界優秀的光電技術產品,結合我們豐富的應用經驗,為客戶提供合適的解決方案,目前主營產品包括:光譜測量系統、激光器、激光量測系統、精密光機產品、光學平臺、光學元器件等;產品廣泛應用于材料學、物理光學、鏡頭、半導體器件測試、汽車光學器件、顯示光學器件等領域

 徠飛光電始終堅持以客戶需求為中心,與客戶協同創新,為行業帶來新的解決方案,實現跟客戶的價值雙贏、共同發展,立志成為國內一流的光電解決方案供應商;

目前徠飛光電為客戶提供以下產品和服務:

波前分析系統:四波剪切干涉波前傳感器、鏡頭MTF測試系統、等離子體診斷系統、透射式波前調制器

光譜系統:拉曼光譜系統、熒光光譜系統、紫外拉曼系統等;

光電模組:激光光源、超亮白光光源、波長可調光源、電學測試儀等

傳感器:光纖光譜儀、紅外光譜儀、波前傳感器、科研級制冷相機、激光功率計、光斑分析儀等

精密機械:電動位移臺、手動位移臺、光學調整架、光學平臺

光學元件:透鏡、窗口、反射鏡、棱鏡、濾光片、波片、偏振元件等

Phasics-Kaleo-MultiWAVE-interferometer-new-design.png

KALEO MULTIWAVEPhasics推出的一款多波長動態干涉儀,該產品應用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術,可以實現動態的波前測量,從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術的自消色差的特性,讓系統可以支持多個工作波長,有效避免傳統干涉儀測試波長跟工作波長不同帶來的誤差問題,特別針對濾光片,可以實現傳統干涉儀無法實現的TWE的測試;

應用領域:濾光片TWE檢測

          反射鏡RWE檢測

          雷達保護窗口檢測

Kaleo_MultiWAVE_動態范圍.jpg        Kaleo_MultiWAVE-TWE.jpg

       

25英寸帶通濾光片的RWE                                           3940nm的鏡子面型


645nm帶通濾光片TWE-1.png      645nm帶通濾光片TWE-2.png

4645nm帶通濾光片TWE

            斐索干涉儀                Kaleo Multiwave

斐索干涉儀跟KMW的對比.png

5、斐索干涉儀和KaleoMultiwave的測試結果對比

測試結果對比表


FIZEAU

PHASICS

直徑(mm

124.9

125.4

RWE(nm PTV)

1498.13

1535.38

RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR

35.2


RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA

9.1



SAG(fr)

5.13

5.04

IRR(fr)

0.75

0.61

RSI (fr)

0.34

0.23

RMSt (fr)

1.477

1.459

RMSi (fr)

0.129

0.103

RMSa (fr)

0.085

0.059

技術規格

KALEO Multiwave技術規格

配置

雙透射

測試功能

RWE反射表面形貌

TWE透射器件

最多可支持波長

標配2個波長;最多可以8個波長

定制波長

193nm14um可選

紫外:266nm355nm405nm

VIS/NIR550nm625nm780nm940nm1050nm SWIR/MWIR/LWIR:1.55um,2.0um,3.39um,10.6um

通光口徑

130mm

光路中心高度

108mm

調試模式

實時相位及澤尼克系數顯示

FOV調整范圍

+/- 2°

尺寸和重量

910x600x260 mm3 , 25kg

隔震要求

重復性(RMS

<0.7nm(<λ/900)

精度

80nmPV

動態范圍(defocus)

500 fringes SFE=150um

反射率

~4% - 99%

更多應用資訊,請聯系我司產品經理蘇先生( 微信同號)




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