產地類別 | 國產 |
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廣州金程科學儀器公司供應的薄膜制備旋涂機,是一種薄膜制備設備,轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。
旋涂機原理:
旋涂機 (spin coater)是一種薄膜制備設備。 在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,在離心力 作用下,使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均 勻的薄膜。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、 化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片, 基 片 ,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
旋涂機應用領域:
半導體器件制備: 制備晶體管、太陽能電池、光伏器件等半導體器件的電極、介質和敏感層材料。
光電子器件制造: 制備液晶顯示器、OLED 顯示器、LED 器件等光電子器件的薄膜材料。
生物醫學傳感器制造:生物醫學傳感器的敏感材料,如蛋白質、 DNA 和細胞等。
納米材料制備:制備納米粒子、納米線和納米薄膜等材料,其制備過程對材料結構和形貌具有一定的控制作用。
旋涂機特點:
◆ 采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。
◆ 7寸全彩中英文互動操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可 選配20個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,最多100個階段。
◆ 內置水平校準裝置,最大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂。
◆ 多重安全保護
電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;
蓋子自鎖功能,防止飛片蓋zi彈開傷人;
雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,最大限度保證實驗人員安全。
◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。
◆ 一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
◆ 符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品更方便。
◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯 (NPP-H) 材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
◆ 上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。
◆ 可選氮氣吹掃、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。
◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。
旋涂機技術參數:
型號 | MSC | SC1 | SC2 |
轉速 | 0-10000rpm | 0-10000rpm | 0-10000rpm |
加速度 | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s |
轉速穩定度 | ±1% | ±1% | ±1% |
勻膠時間 | 0-9999s | 0-9999s | 0-9999s |
工作艙直徑 | 直徑180mm | 直徑180mm | 直徑240mm |
基片尺寸 | 圓片φ≤6時,方片最大 105x105mm | 圓片φ≤6時,方片最大 105x105mm | 圓片φ≤8時,方片最大 140x140mm |
外型尺寸 | L245xW325xH215mm | L245xW325xH285mm | L305xW385xH285mm |
包裝尺寸 | L365xW445xH335mm | 1365xW445xH405mm | L425xW505xH405mm |
整機重量 | 6.3Kg | 7.6Kg | 11.6Kg |
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