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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>制樣/消解設備>涂覆機>MSC/SC1/SC2 薄膜制備旋涂機

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MSC/SC1/SC2 薄膜制備旋涂機

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廣州金程科學儀器有限公司是服務于科研事業的實業公司,致力于中試反應釜及其溫控系統、實驗室儀器設備和消耗品的研發設計、銷售、安裝調試及售后服務。公司在上為客戶提供完整產品配套服務,為客戶一站式解決各個方面的產品問題,從通用儀器設備耗材的提供到專業儀器設備的定制,都能通過我們專業的研發與工程技術團隊以及完善的供應資源渠道為客戶完整解決。公司理念:專業專注,用心服務,致力于服務科研儀器事業;服務范圍:中試反應及溫控系統,通用儀器設備,分析儀器,玻璃儀器耗材配件。服務領域:生物醫藥,化學化工,環境工程,檢驗檢測,科研院所。




高壓反應釜,玻璃反應釜,連續流反應器,加熱制冷裝置,真空泵,旋轉蒸發儀,生物反應器

產地類別 國產

廣州金程科學儀器公司供應的薄膜制備旋涂機,是一種薄膜制備設備,轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。

 

旋涂機原理:

旋涂機 (spin  coater)是一種薄膜制備設備。 在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,在離心力 作用下,使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均 勻的薄膜。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、 化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片, 基 片 ,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

 

旋涂機應用領域:

半導體器件制備: 制備晶體管、太陽能電池、光伏器件等半導體器件的電極、介質和敏感層材料。

 

光電子器件制造: 制備液晶顯示器、OLED  顯示器、LED 器件等光電子器件的薄膜材料。

 

生物醫學傳感器制造:生物醫學傳感器的敏感材料,如蛋白質、 DNA 和細胞等。

 

納米材料制備:制備納米粒子、納米線和納米薄膜等材料,其制備過程對材料結構和形貌具有一定的控制作用。

 

 

旋涂機特點

◆ 采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。

◆ 7寸全彩中英文互動操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可 選配20個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,最多100個階段。

◆ 內置水平校準裝置,最大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂。

◆ 多重安全保護

電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;

蓋子自鎖功能,防止飛片蓋zi彈開傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,最大限度保證實驗人員安全。

◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。

◆ 一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆ 符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品更方便。

◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯 (NPP-H)  材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

◆ 上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。

◆ 可選氮氣吹掃、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。

◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。

 

薄膜制備旋涂機


旋涂機技術參數

 

型號

MSC

SC1

SC2

轉速

0-10000rpm

0-10000rpm

0-10000rpm

加速度

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

轉速穩定度

±1%

±1%

±1%

勻膠時間

0-9999s

0-9999s

0-9999s

工作艙直徑

直徑180mm

直徑180mm

直徑240mm

基片尺寸

圓片φ≤6時,方片最大

105x105mm

圓片φ≤6時,方片最大

105x105mm

圓片φ≤8時,方片最大 140x140mm

外型尺寸

L245xW325xH215mm

L245xW325xH285mm

L305xW385xH285mm

包裝尺寸

L365xW445xH335mm

1365xW445xH405mm

L425xW505xH405mm

整機重量

6.3Kg

7.6Kg

11.6Kg

 

 

薄膜制備旋涂機信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。

 

 


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