生命科學無掩膜光刻機（BIO系列）是一款專為生命科學領域設計的紫外光刻設備。

特征尺寸1μm：BIO系列無掩膜光刻機能夠實現1μm的精細特征尺寸，這對于生命科學領域中的微納加工技術來說至關重要，可以滿足高精度圖案化的需求。

高深寬比：設備采用了更短的波長光源，結合優化的光刻工藝，實現了更高的深寬比，這對于制備厚膠層和高 aspect ratio 的微結構至關重要。

無掩膜光刻技術：BIO系列無需傳統掩膜版，直接通過計算機生成的光束進行光刻，大大提高了生產的靈活性和效率，同時降低了成本。

適用于厚膠工藝：BIO系列無掩膜光刻機的高深寬比特性使其非常適合于厚膠層的微加工，這在生命科學領域，尤其是微流控芯片的制造中尤為重要。

微流控芯片制造：設備能夠精確地制造出微流控芯片上的微通道、微室和其他復雜結構，這些結構對于生物樣品的處理、分析至關重要。

研究與應用支持：BIO系列無掩膜光刻機為生命科學研究提供了強有力的工具，使得科學家能夠探索新的實驗方法，推動生物技術、藥物篩選、細胞培養等領域的發展。

靈活性與定制化：無掩膜光刻技術允許用戶快速更換設計圖案，實現定制化生產，這對于不斷變化的科研需求和市場應用尤為重要。

節省時間和成本：由于省去了掩膜版的制作環節，BIO系列無掩膜光刻機能夠顯著縮短研發周期，降低生產成本。

環保與可持續性：無掩膜光刻技術減少了化學試劑的使用和廢棄物的產生，符合環保和可持續發展的要求。

BIO系列生命科學無掩膜光刻機以其高深寬比、高精度和無掩膜光刻技術的特點，為生命科學領域提供了一種高效、靈活且環保的微加工解決方案。它的出現不僅為科學研究提供了新的工具，也為生物醫療設備和實驗室儀器的制造帶來了創新的可能。