中圖儀器SJ6000納米精度位移激光干涉測量儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。激光干涉儀具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數，提高測量效率。它集光、機、電、計算機等技術于一體，采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

動態測量

在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

動態測量應用：

動態測量包括基于時間的動態測量和基于距離的動態測量，SJ6000動態測量軟件可對動態測量數據進行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

1.基于時間的動態測量

機器運動控制性能評價：

?運動控制器PID控制參數測試與設置

?高速運動后機器的穩定性測試與評價

?高性能運動控制器的微小步幅的測試

振動監視

?掃描應用：用于定位精度不重要，但恒速對實現高質量成像非常關鍵的場合

?機床應用：典型應用包括要求刀具慢速、平穩輪廓運動的高質量表面精加工

振動頻率分析

?被測對象的振動頻率分析

?FFT快速傅立葉變換分析

2.基于距離的動態測量

基于距離的動態測量，SJ6000激光干涉儀系統將沿著軸線“飛行”測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進行數據采集。

3.提供脈沖觸發方式采集

CT70正交觸發盒可監控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現脈沖觸發啟動采集和連續脈沖觸發采集。適用于運動軸在不停頓的情況下，觸發激光干涉儀按照定的間隔位置進行數據采集。

產品功能

（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環境補償。

SJ6000納米精度位移激光干涉測量儀適用于各種復雜的運動系統，不僅僅局限于運動導軌，還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能，減少維護成本和停機時間，為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。

部分技術規格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

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