1.產(chǎn)品概述：

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統(tǒng)具有與 LSA101 相同的架構(gòu)，但包括獲得利的微室設計，可在掃描激光系統(tǒng)中實現(xiàn)全晶圓環(huán)境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統(tǒng)能夠運行任何惰性氣體的混合物，包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵結(jié)活化和鎳硅化物形成等應用。LSA201 非常適合 20nm 以下的工藝，例如環(huán)境控制至關(guān)重要的界面工程和材料改性。

2.產(chǎn)品特點

長波長、布魯斯特角、p 偏振光，可實現(xiàn)佳的芯片內(nèi)均勻性

閉環(huán)溫度反饋控制，保持嚴格的溫度控制

布局獨立設計，非常適合處理平面和 FinFET 器件

具有靈活停留時間的局部應力場可實現(xiàn)低應力處理并減少晶圓破損。