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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>組裝與封裝設備>貼片機/粘片機>TLB-360FM/485FM 全自動液體蠟貼片機

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TLB-360FM/485FM 全自動液體蠟貼片機

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貼片機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.  產品概述:

全自動液體蠟貼片機是一種高度自動化的設備,主要用于在半導體制造過程中,將晶片(如硅片)精確地鍵合到載具(如陶瓷盤)上。該設備通過自動化流程,如滴蠟、甩蠟、烘烤、貼片、加壓和冷卻等步驟,完成晶片的貼附工作。

2.  設備用途/原理:

全自動液體蠟貼片機集成了機--光和計算機控制系統技術,通過精密的機械手或傳動系統,實現晶片的自動取放、定位、涂蠟、烘烤和壓片等操作。整個過程中,設備能夠精確地控制每個步驟的參數,如甩蠟轉速、烘烤溫度、壓片力度等,以確保晶片貼附的精度和質量。全自動液體蠟貼片機廣泛應用于半導體制造、微電子封裝、光電技術等領域,是這些行業中關鍵設備之一。它能夠提高生產效率、降低生產成本、提升產品質量,并有助于推動相關產業的技術進步和產業升級。

3.  設備特點

1 高度自動化:全自動液體蠟貼片機能夠實現從晶片取放到最終貼附的全程自動化,減少人工干預,提高生產效率和一致性。

2 高精度:設備采用先進的控制系統和精密的機械結構,能夠確保晶片貼附的精度和位置準確性。

3 多功能性:通過搭配不同的夾具和工藝參數,該設備可以適應不同尺寸、不同厚度的晶片貼附需求。

4 易操作性:設備通常采用PLC觸摸屏控制,界面友好,操作簡便,易于上手和維護。


  4. 性能參數


規格/參數

TLB-360FM

TLB-485FM

晶圓尺寸

2-6 inch

4-8 inch

陶瓷盤規格

OD360 mm

OD485 mm

上片方式

全自動

全自動

清洗工位

純水+PVA

純水+PVA

甩蠟轉速

0-3000 RPM

0-3000 RPM

烘烤溫度

Max350℃

Max350℃

壓片裝置

氣囊+氣缸二段壓片

氣囊+氣缸二段壓片

加熱溫度

Max250℃

Max250℃

陶瓷盤冷卻系統




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