納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數據，適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠實現納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量技術參數：

型號：PZ-Mico D

測試技術： 3D相干掃描干涉法，抗震算法，移相干涉法

光源：固態白光光源，軟件控制切換光譜（VSI和PSI）

掃描裝置：精密壓電陶瓷驅動，閉環反饋電容控制精密壓電陶瓷

像素分辨率：1280X1024

視場：  10倍范圍1200X950

縱向掃描范圍：25mm

橫向分辨率：0.05-2.68µm

軸向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm

臺階高度精度（示值誤差）±0.1nm（5µm標準臺階）

臺階高度重復性：0 . 1％1σ（5µm標準臺階

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重復性:0.01nm

被測樣品反射率：0.05%-100%

Z軸：電動Z平臺100mm，1μm分辨率）

位移臺：電控平臺移動范圍XY:100x100mm

產品細節

應用范圍