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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>其它半導體設備> UV400 GaN基外延片測溫儀

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UV400 GaN基外延片測溫儀

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上海明策電子科技有限公司定位于檢測方案服務商。為國內大量有檢測需求的用戶提供一定的售前試用、免費測試,提供專業的測試解決方案、儀器設備,以及周到的售后服務。

公司座落于有東方明珠之稱的大都市上海,總部辦公室位于上海松江區漕河涇水木園經濟開發區。還在多個城市設立了本地售后服務中心、維修中心。

明策致力于為醫療器械、先進材料生產過程、環保材料檢測、計量校準、高速運動研究等行業提供專業的測試解決方案,引進先進的儀器設備。方案涉及紅外測溫、高清成像、材料研究、標定校準、系統集成。原理涉及光學近、中、遠紅外波段、可見光波段、太赫茲波段、激光波段等。

遵循服務至上的理念,為用戶測試任務創新增值、提升用戶體驗度是明策全體人員的價值觀,讓更多的生產、工程、與試驗人員使用我們的儀器與服務,成為行業內具備一定影響力的品牌,是公司長期的愿景。

我們具備專業的技術服務團隊,高效的管理協作。公司采用先進的云數據系統,為客戶、合作伙伴提供全面有效的專業服務。為售前、售中、售后規范化運作提供保障。

明策科技為客戶不僅提供產品*,還提供本地測試服務、售前服務、售后安裝調試服務、維修服務、校準服務等。明策科技提供的解決方案深入多個行業領域,獲得用戶高度認可。我們不僅提供儀器與方案,更有現場專業服務!

 

 

 

高速攝像機,紅外測溫儀,紅外熱像儀,黑體爐

價格區間 面議 應用領域 電子,交通,航天,汽車,電氣

UV400 GaN基外延片測溫儀詳細說明

UV 400的前身TR 2100是*采用集成反射計(2001年)的高溫計,為使用光纖鏡頭和950 nm激光實時測量發射率建立了行業標準。藍寶石光管傳感器和實時的黑體校準源取得的研究進展提供了完整的溫度測量解決方案。

UV 400和UVR 400系統是專門為GaN基MOCVD外延工藝開發的下一代溫度傳感器。這些傳感器可以直接測量晶圓表面溫度,而非傳統的基座溫度。UVR 400較UV 400 增加了一個635 nm,0.5 kHz測量速度的反射率測量儀,可測量沉積厚度.

這些系統正在為 LED 生產過程設定一個新的標準,其結果顯示工藝溫度和終產品波長之間存在可靠的相關性.這種直接測量的方法可以更精確地控制晶片溫度,從而提高成品率

主要特點

  • 使用紫外波段直接測量GaN層溫度;

  • 使用脈沖光源實時快速測量發射率;

  • 使用真正的光計數儀器將測量中的噪聲降至低;

  • 防止由于延遲采樣(無快門打開和關閉)而造成的數據偏差

  • 測溫范圍:650 至 1300℃

  • 重復精度 0.01 °C (see TN-828)


典型應用

  • GaN 基 MOCVD 外延工藝


技術指標

測量參數

溫度范圍:

650 至 1300°C

子溫度區間:

溫度范圍內任意可調,小跨度 51°C

響應波長:

383 至 410 nm

探測器:

光電倍增管, 暗計數范圍小于原始值的 1% @ 650°C

兩次測量之間的等待時間:

少于 1 μs

分辨率:

軟件顯示0.1℃;
模擬輸出不超過設定范圍的 0.025%

發射率 ε:

0.100 至 1.000 調整步幅 0.001

透射率 τ:

0.100 至 1.000 調整步幅 0.001

積分時間;

少8ms

測量不確定度:
(ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)

小于 1000°C, 3°C;
大于 1000°C, 0.3%;

重復性:
(ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)
0.1% 或 0.1°C
電參數
功耗:大5W
負載(模擬輸出):0 至 500 ?
隔離:電源,模擬輸出,數字接口彼此隔離
環境參數
防護等級:IP 40  IEC 60529
真空和氣體:設備可承受氮氣和真空(低于10 mbar),外殼有氣孔
安裝位置:任意
環境溫度:10 至 38 °C
存儲溫度:-20 至 50 °C
相對濕度:非凝露
重量:2.5 kg
外殼:發黑氧化鋁
CE 認證:根據歐盟有關電磁抗擾度的指令
接口

模擬輸出:

0 到 20 mA 或 4 到 20 mA, 線性

數字輸出:RS485可尋址(半雙工)
波特率:1200 至 38400
大值存儲:內置單存儲器或雙存儲器
tclear 可調(off; 0.01 s; 0.05 s; 0.25 s; 1 s; 5 s; 25 s),
反射率測試(僅 UVR400)
測試范圍:0 至 100%
速率:1000 Hz
光源:激光二極管
測量波長635 nm ±5 nm
測量不確定度:測量范圍的 2%
重復精度:測量范圍的 5%
晶圓片允許傾斜公差:0.3°
鏡頭工作距離 a:100mm
模擬輸出:0到20 mA 或 4到20 mA ;可切換
負載:0 到 500 Ohm

UV400 GaN基外延片測溫儀






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