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施啟樂(廣州)儀器有限公司

化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>洗瓶機/清洗機>UV-300H 紫外線臭氧清洗機

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UV-300H 紫外線臭氧清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 綜合

紫外線臭氧清洗機 UV-300 200 - 300 nm/min的高灰化率。

概要

UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合,可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體(GaN、SiC、GaAs、InP)、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

主要特點和優點

    • 大加工尺寸為?300mm(?12英寸)。

    • 200 - 300 nm/min的高灰化率。

    • 加熱階段加快了清洗速度,實現了寬廣的工藝溫度范圍。

    • 通過調整平臺和石英擴散板之間的間隙,可以提高基板的均勻性。

    • 緊湊,使用小的潔凈室空間

    • 簡單,在大氣壓下操作--不需要真空系統。

    • 柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。

    • 抽屜聯鎖保證了當抽屜打開時系統無法工作。

    • 內置臭氧催化劑裝置,可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

應用

  • 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

  • 復合半導體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。

  • 表面改性(潤濕性和附著力的改善

  • 表面氧化(薄氧化層沉積)

  • 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

  • 清除有機污染物

  • 紫外線固化








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