FPPLA-EMICON-SA 等離子體監(jiān)控儀
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPPLA-EMICON-SA
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/4/25 11:27:20
- 訪問次數 754
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產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 磁質譜 | 應用領域 | 環(huán)保,生物產業(yè),能源,電子,綜合 |
等離子體監(jiān)控儀是等離子體清洗等應用所需的等離子體光譜儀器,滿足生產線等離子體工藝的整體過程控制和質量保證。等離子體監(jiān)控儀EMICON SA系統(tǒng)具有在一個系統(tǒng)中實時收集所有重要過程數據的du特組合。
等離子體監(jiān)控儀特點
廣泛的測量數據采集
等離子體發(fā)射模塊與光纖光譜儀一起工作以高速連續(xù)采集從UV到NIR的等離子體光發(fā)射的光譜。這個HIPIMS/Pulse模塊允許對MHz范圍內的電壓信號和層進行觸發(fā)采樣控制模塊獲取生長薄膜的反射光譜和/或透射光譜。此外,信號輔助傳感器可以通過模擬電壓輸入輸入。
實時監(jiān)控等離子體過程參數
從所獲取的發(fā)射數據中,可以選擇任意數量的等離子體線,持續(xù)監(jiān)控等離子體條件和成分。HIPIMS/Pulse模塊提供電壓以及來自脈沖切片的電流值,例如HIPIMS過程的峰值電流。這個層控制模塊基于寬帶光譜擬合來計算膜厚度,或者相對于標準顏色空間的顏色值。從模塊獲取的所有數據實時導出,并且可以作為時間的函數顯示為所謂的監(jiān)視器軌跡從而實時提供過程狀態(tài)的全面畫面。
等離子體監(jiān)控儀典型應用:過程監(jiān)控,玻璃,涂層,太陽能電池生產線
等離子體監(jiān)控儀規(guī)格參數
工作類型:fieldbus 系統(tǒng)集成,實時過程監(jiān)控
光譜傳感器:200-1100nm
光譜通道:8個
光譜分辨率:1.5nm
動態(tài)范圍:16bit
時間分辨率:1ms
采樣時間:250us~分鐘
數據存儲:發(fā)射光譜,脈沖曲線,光譜層,信號傳感器