DX-7系列晶棒及晶片角度測量儀
- 公司名稱 北京鴻瑞正達科技有限公司
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- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/3/7 21:22:40
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DX-7 系列晶棒及晶片角度測量儀
產品簡介: DX-7 系晶棒及晶片角度測量儀是雙側工作臺,可同時進行操作,用于對晶棒及晶片的角度進行 測量。
DX-7 系列晶棒、晶片角度測量儀參數對比表
型 號 | DX-7B | DX-7BG | ||
主要特點 | 設備構造:設備分為落地式一體機。 外型尺寸: 1132 (長)× 642 (寬)× 1200(高) mm。 | |||
樣式 1 | 樣式 2 | 樣式 3 | ||
功能 | 可測量晶棒的端面和柱面, 也可以測 量晶片。 | 帶有六方型刻度貼片板, 可測量晶片端面 | 可測量晶片參考邊 | |
被測晶 體尺寸 | 2-6 寸晶棒、 長度 L≤320mm, 2-6 寸晶片。 | 2-6 寸晶棒、長度 L≤100mm, 2-6 寸晶片。 | 2-6 寸晶片。 |
工作臺 圖片 | ||||
配套 夾具 | ①V 型夾具(測量晶棒端面時使用) ②底板(測量有參考面的晶棒端面時 使用) | 無需夾具 | 無需夾具 | |
工作臺:以上是常見工作臺,可根據客戶需要, 任選以上 2 種樣品臺進行組合,也可以雙側一樣,還可 以根據被測的晶體尺寸,及晶體被測方位來特殊設計。 | ||||
設備精度 | 設備綜合精度為±30″ (以供方提供的標準石英片 10ī1 面測量) | 設備綜合精度為±15″ (以供方提供的標準石英片 10ī1 面測量) | ||
最小讀數 | 10″ | |||
儀器配置 | DX-7B 和 DX-7BG 型 X 射線單晶定向儀由機臺、 管套及各種機械附件組成的機械部分; 由穩壓器、控制器、 高壓變壓器、放大器、計數器、風冷電機、 X 射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構成。 | |||
技術指標 | (1) X 射線發生器部分: X 射線管:銅靶,風扇冷卻,陽極接地。 管電壓: 30KVP,全壓合閘。 管電流: 0—5mA 連續可調, 使用 2.0mA 以上, 有可能損壞 X 光管并加大輻射危害。 | |||
(2)輸入電源: 單相交流 220V,50Hz,整機總耗電功率不大于 0.3 KW 。 (3)角度測量范圍: 2 θ角:- 10~+110° θ角:-5~+55°。 | ||||
衍射方式 | 單衍射 | 雙衍射 | ||
放大系統 | 傳統放大器 | 新型放大器 | ||
接收系統 | 計數管計數率為 104/秒 | 計數管計數率為 108/秒 |
(是普通系列的 1 萬倍) | ||
接收器壽命 | 1 年 | 3 年以上 |
X 光管壽命 | 按照國家標準 400 小時 (X 光管可以使用 3-4 個月) | 是正常使用狀況下的 2-3 倍 (X 光管至少可以使用一年) |
X 管電流強度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA |
測量和使用效果 | X 光管使用 2-3 個月有可能出現多個假峰,影響 準確度。 需要經常更換 X 光管,影響生產效率。 | 可以濾掉 X 光管的雜峰,不存在假峰現象。 X 光管可 以使用 1 年左右,不需要頻繁調整機器。 |
精度 | 精度±30 秒(或±0.008 度) | 精度±15 秒(或±0.004 度) |
輻射 | 測量時使用 mA 量越來越大,射線輻射量較大。 | 測量時使用 mA 量小,射線輻射量較小。 |