Cchip-0019 高深寬比紫外光刻機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 Cchip-0019
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/1/31 13:31:03
- 訪問次數 109
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產品名稱:高深寬比紫外光刻機(曝光機)
產品型號:Cchip-0019
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高深寬比紫外光刻機簡介:
微流控芯片的設計結構一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點,中芯啟恒自主研發生產了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機。該設備采用目前LED光源,紫外波長365nm,光源純度高,輻射能量均一可調。設備配有智能化觸摸屏操作面板,外觀比較傳統光刻機體積更小,集成化度更高,不僅簡化了操作流程,還進一步提高了工藝效率。
不僅如此,我們還對曝光系統進行了優化,將曝光過程中衍射誤差降到極限,保證圖案設計值與實際值一致,從而為芯片制作保駕護航。
以下是客戶實測圖片,結構高度92um,間距20um,請參考!
中芯啟恒提供一站式微流控解決方案:
(1)PDMS/玻璃/PMMA等各種材質微流控芯片加工設備、耗材、試劑、配件等服務。
(2)提供微流控芯片光刻實驗室、微流控芯片軟注塑實驗室、微流控芯片封合實驗室、微流控實驗系統平臺組建服務。
(3)公司提供微流控芯片加工技術培訓和微流控芯片使用技術培訓。