Mini CPS微型真空探針臺功能特點
介電/壓電/鐵電/熱釋電/光電材料的電學性能表征
機械彈性設計，避免探針損壞薄膜樣品
可在真空、氣氛環境下測量
小巧精密，外觀精致
1000X顯微放大，有利于實時觀察樣品狀態
Mini CPS微型真空探針臺技術規格
| 溫度范圍： | -160℃～450℃ | 控溫精度： | ±0.5℃ |
| 升溫速率： | 0～10℃/min | 制冷方式： | 電聲制冷或液氮制冷 |
| 樣 品 臺： | 40×40 mm | 樣品尺寸： | φ ＜22 mm |
| 溫度測量： | PT100 | 探 針 臂： | 4個 |
| 降溫時間： | 30min降溫至-160℃ | X 軸： | 行程±5mm，精度±0.01mm |
| 觀 察 窗： | φ26 mm | Y 軸： | 行程±5mm，精度±0.01mm |
| 位移分辨率： | 10μm | Z 軸： | 行程±5mm，精度±0.01mm |
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