ALIO定制化控制運動方案

ALIO Industries 的定制運動控制解決方案——滿足原始設備制造商的要求

ALIO Industries 提供定制運動控制解決方案，可為原始設備制造商客戶帶來巨大價值。ALIO 專注于納米精度應用，可以定制其核心解決方案以滿足確切的客戶需求，推動新的創新解決方案的發展ALIO定制化控制運動方案。

笛卡爾龍門架

龍門機器人由安裝在高架系統上的機械手組成，并允許在水平面上移動。

• XY行程200mm – 2000mm

• 加速度  1.5 – 3.5 G

• 線性分辨率<5nm

• 雙向重復性    小于+/-100NM

• 定位精準度  ~<1.0µm

SNH 系列是高度可配置的龍門機器人設計，基于 ALIO 久經考驗的標準平臺，可根據客戶的負載、吞吐量、精度、行程和預算進行調整。

客戶可以從低至 100 毫米或高至 1 米以上的 XY 行程以及允許加速度高達 3.5G 的各種強大的驅動選項中進行選擇。龍門架安裝在花崗巖、鋼或鋁框架等剛性底板上，可實現 +/- 1.5µm 的精度。

實現如此高精度的一個關鍵因素是我們的“Yaw Compliance”選項——一個虛擬旋轉軸，可以對小的角度偏差進行精確補償，也可以用作實際的旋轉軸，用于小的預期角運動。

將笛卡爾龍門架與可選自由度相結合，如 z 軸、旋轉軸、（倒置）三腳架或混合六 您可能會在激光加工或增材制造/3D 打印等工業應用中發現我們的笛卡爾龍門架，在這些應用中，由于樣品無法移動或非常大，因此需要高架運動。

空氣軸承系統

ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空氣軸承運動系統，6-D指運動的6個維度；線性，直線度，平面度，俯仰，偏航和滾動。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件。6-D Nano Precision® 是指在納米級精度下運動的身體的所有 6 個自由度的性能證明文件。空氣軸承系統適用于制造、檢測/維修和計量等各種應用領域。ALIO Industries空氣軸承運動系統，是一種用氣浮導軌或空氣軸承做支撐的精密運動裝置，適用于下一代TRUE NANO®精密應用。空氣軸承系統提供出色的定位性能，適用于高精度要求的應用。空氣軸承系統適用于多個行業，包括光伏、半導體、噴墨沉積、光刻和光學檢測等領域。

空氣軸承系統產品特點：

• 零摩擦和無振動的平滑移動

• 速度穩定超高精度的移動

• 運動不產生顆粒，適用于無塵環境

• 軸承損耗低，表面不易損壞  

真空運動系統

它是順應技術要求小規模工作的普遍趨勢而開發的納米級綜合解決方案產品。

采用超低釋氣材料和涂層，以適應真空環境下的要求，這些材料具備低揮發性、低氣體釋放和良好的真空兼容性。通過對驅動器、控制器、軸承、反饋系統的精妙選材和對運動系統的出色設計，以完成高真空環境下的納米精度位移。

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