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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>粗糙度儀>OptoScan 600 光學粗糙度測試儀

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OptoScan 600 光學粗糙度測試儀

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岱美儀器技術服務(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經驗的高科技設備分銷商,主要為數據存儲、半導體、光通訊、高校及研發中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系。自1989年創立至今,岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區。


岱美在中國大陸地區主要銷售或提供技術支持的產品:

晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統、應力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯系我們,了解我們如何開始與您之間的合作,實現您的企業或者組織機構長期發展的目標。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

產地類別 進口 應用領域 化工,電子,綜合
面板 600x600

X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板

OptoScan 600 光學粗糙度測試儀應用:

整體晶圓快速精確檢查

  • 缺陷

  • 粗糙度

  • 波紋度

  • 翹曲

    檢測臺

直線電機 X/Y

700 x 700 (mm)

(Witte) 真空吸盤

帶旋轉攝像頭傳感器

OptoScan 600 光學粗糙度測試儀 檢測結果

扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度

Ra values 0.15 µm / Disco Machine.

測量通過拼接 148 次局部區域掃描(約需 1 小時)


其他推薦:德國OptoSurf WaferMaster WM 300 角分辨光散射(ARS)技術粗糙度測量系統

先進半導體封測應用工藝如扇出型晶圓級封裝 (FOWLP) 及扇出型面板級封裝(FOPLP) 需將晶圓或面板減薄至 50 - 30 µm ,于是晶背研磨工藝后的晶圓粗糙度測量極其重要。OptoSurf 的角分辨散射粗糙度測量系統取代了傳統的 WLI (白光干涉)或 AFM (原子力顯微鏡 )小面積測量技術已經用于超導的高質量拋光金屬表面的表面測量中得到充分證明,可在 30 秒內精準測量< 1 nm 的 Ra 值以獲得整個200 毫米晶圓區域的粗糙度以及微米范圍內的翹曲和納米范圍內的波紋度。

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