高溫氣敏測試臺 真空探針臺，體型平板大小，功能齊全，帶高低溫（-196℃到400℃），探針尖10μm。
模塊化結構設計，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級。可根據測試環境和測試條件的改變而進行現場升級。增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。
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可處理不同尺寸的晶圓
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可測試芯片、晶圓
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可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物
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模塊化結構設計，具有較好的靈活性
高溫氣敏測試臺 真空探針臺參數
| 真空腔體 | |
| 類型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
| 腔體材質 | 304不銹鋼 |
| 腔體內尺寸 | φ90x40mm |
| 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
| 腔體抽氣口 | KF16 |
| 腔體進氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
| 腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
| 腔體正壓 | ≤0.05MPa |
| 腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
| 樣品臺 | |
| 樣品臺材質 | 304不銹鋼 |
| 樣品臺尺寸 | 26X26mm |
| 樣品臺-視窗 距離 | 30mm（可選凹視窗間距15mm） |
| 樣品臺測溫傳感器 | A 級PT100鉑電阻 |
| 樣品臺溫度 | 室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃） |
| 樣品臺測溫誤差 | ±0.2℃ |
| 樣品臺變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
| 溫控儀 | |
| 溫度顯示 | 7寸人機界面 |
| 溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） |
| 溫度分辨率 | 0.1℃ |
| 溫控精度 | ±0.5℃ |
| 溫度信號輸入類型 | PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） |
| 溫控輸出 | 直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷） |
| 輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 |
| 探針 | |
| 電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
| 電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
| 探針數量 | 4探針（可定做6探針） |
| 探針材質 | 鍍金鎢針 |
| 探針尖 | 10μm |
| 探針移動平臺 | |
| X軸移動行程 | 12mm ±6mm |
| X軸控制精度 | ≤5μm |
| Y軸移動行程 | 12mm ±6mm |
| Y軸控制精度 | ≤5μm |
| Z軸移動行程 | 12mm ±6mm |
| Z軸控制精度 | ≤5μm |
| 數碼顯微鏡 | |
| 顯微鏡類別 | 物鏡放大+電子放大 |
| 顯微鏡放大倍數 | 100倍 |
| 顯微鏡工作間距 | 50-150mm |
| 相機分辨率 | 1080P 60幀 |
| 相機信號輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
| LED可調光源 | LED光源 |
| 顯示屏 | 5寸 屏幕一體機 |
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