VK-X3000系列 基恩士 形狀測量激光顯微系統(tǒng)
- 公司名稱 基恩士(中國)有限公司
- 品牌 KEYENCE/基恩士
- 型號 VK-X3000系列
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/17 15:39:35
- 訪問次數(shù) 10546
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 超高速激光共聚焦顯微成像系統(tǒng) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,印刷包裝,汽車,綜合,材料領(lǐng)域 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,印刷包裝,汽車,綜合,材料領(lǐng)域 |
基恩士 形狀測量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000系列
產(chǎn)品外觀
產(chǎn)品特性
采用了三重掃描方式,運(yùn)用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度,
以及鏡面體,透明體等。VK擁有應(yīng)對多種樣品的測量能力(從 1 nm 到 50 mm),納米/微米/毫米一臺完成測量。
1、Basic Characteristics
觀察
從光學(xué)顯微鏡到SEM領(lǐng)域一臺設(shè)備涵蓋
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42 至 28800 倍
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無需對焦
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適用于多種樣品
測量
非接觸瞬間掃描形狀
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不會損傷目標(biāo)物
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納米級別也可準(zhǔn)確測量
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透明體和坡度大的目標(biāo)物也可測量
分析
希望了解的表面“差異”一目了然
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定量化微小形狀
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輕松比較多個(gè)樣品
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粗糙度分析
2、三重掃描方式解決“難以測量”的難題
可根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測量范圍,選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,進(jìn)行高精度測量。
3、納米級分辨率
即使是納米級的微小形狀變化也能準(zhǔn)確測量。
此外,如鏡面體、透明體等測量難度高的材料也能實(shí)現(xiàn)高速、高精度、大范圍的測量。
4、連高度差較大的凹凸處和大范圍區(qū)域也能測量
掃描區(qū)域50 mm見方。
凹凸不平或手掌大小的物體也能整體掃描。
只需一臺設(shè)備,即可同時(shí)掌握整體形狀和局部形狀。
5、精確測量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。
適用于各種目標(biāo)物的測量能力
測量案例
Si 晶片背面 │ 3000 倍
表面粗糙度測量
MEMS │ 2 mm × 2 mm
提供:Matthieu Denoual 博士(GREYC/CNRS, ENSI de Caen,France)與東京大學(xué)研究生院三田吉郎研究室
相機(jī)卡口部端子 │ 30 mm × 12 mm
端子的形狀測量
基恩士 形狀測量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000系列
除上述應(yīng)用外,在其他行業(yè)也應(yīng)用廣泛。
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