Honeywell霍尼韋爾放大氣體質(zhì)量流量傳感器HAF 系列 - 低流量，補(bǔ)償式。10 SLPM 至 300 SLPM。數(shù)字輸出。

Honeywell低流量傳感器HAF系列產(chǎn)品簡介如下：

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經(jīng)校準(zhǔn)的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償。基于 ASIC 的補(bǔ)償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間。

這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計的氣流通道內(nèi)，提供對于流量的可重復(fù)響應(yīng)。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度、可重復(fù)測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅固耐用。它們的設(shè)計與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)。

Honeywell低流量傳感器HAF系列基礎(chǔ)參數(shù)如下：

端口類型：
符合 ISO 5356 的 22 mm OD 錐形外螺紋接頭
多面安裝
符合 ISO 1179 的 G 3/8 內(nèi)螺紋接頭

存儲溫度：-40°C 至 100°C [-40°F 至 212°F]
響應(yīng)時間：典型值 1 ms
補(bǔ)償溫度范圍：0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]
信號調(diào)節(jié)： 放大
介質(zhì)兼容性：僅干燥氣體。
功耗：最大 60 mW 至最大 200 mW
電源電壓：3 Vdc 至 10 Vdc

流量/壓力范圍：
0 SLPM 至 300 SLPM
0 SLPM 至 15 SLPM
0 SLPM 至 100 SLPM
0 SLPM 到 20 SLPM
0 SLPM 至 200 SLPM
0 SLPM 至 50 SLPM
0 SLPM 至 10 SLPM

工作溫度：-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

型號示例：HAFBLF0750C4AX5 

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