HORIBA S48/32質量流量控制器

S48/32質量流量控制器產品介紹

 氣體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為 MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S48/32 質量流量控制器（流量計）

   特點： ☆工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

              ☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。適 用于各種耐腐蝕性氣體。線路板、閥體、彈等為重要零部件，均執行 嚴格的入廠標準。 ☆具有精度高、重復性好、軟啟動、工作穩定可靠。

              ☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行計 量。

 S48/32 質量流量控制器（流量計）主要應用領域：

    半導體制造行業的氣體流量控制；   

    分析儀器設備的氣體計量與控制；

    各種形式的真空鍍膜設備；

    環境檢測與分析設備；

    化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制；

    特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

    混氣配氣系統和泄露探測系統等。

S48/32質量流量控制器產品規格

   質量流量控制器（流量計）由質量流量傳感器，分流器通道，流量控制調節 閥和放大控制電路等部件組成。 本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分 布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的 影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得 的差值信號去驅動控制調節閥門，通過閉環，去控制流過通道的流量使之與設定 的流量相等。

HORIBA S48/32質量流量控制器