ES612 ESD 測(cè)試儀 (HBM, HMM, MM)

ES612 ESD測(cè)試儀是一款2管腳測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612 ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè)，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。

特點(diǎn)

• 低寄生參數(shù)，高質(zhì)量脈沖

• 可定制，可擴(kuò)展

• 可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試

• 外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊

• 觸摸控制面板

• 可固件升級(jí)

• 可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件

• 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
   

ES612 ESD測(cè)試儀是一款2管腳測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612 ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè)，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
 

• 低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖
• 可定制，可擴(kuò)展
• 可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試
• 外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊
• 觸摸控制面板
• 可固件升級(jí)
• 可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件
• 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
   
• 用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)器件的通用ESD測(cè)試
• HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
• HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
• MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012
   

• ES612 控制主機(jī)

  參數(shù)	ES612-2K	ES612-8K	ES612-12K	ES612-20K	單位
  輸出電壓	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
  小輸出電壓步長(zhǎng)	1V (500V以內(nèi))   10V (2 kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi))   10V (8 kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi))   10V (12 kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi))   10V (20 kV以內(nèi))	V,   kV
  輸出電壓精度	± 1 % 或 ± 5 V				%
  尺寸	347 X 300 X 145				mm
  重量	5	6	6	7	kg
  電壓、電流測(cè)量	電壓、電流測(cè)量無(wú)源探頭
  支持的示波器	Keysight， Tektronix，Lecory主流型號(hào)示波器
  支持的SMU	Keithley 24xx/26xx 系列

  外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊

  參數(shù)	HBM-2K	HBM -8K	HBM -12K	HBM -20K	單位
  輸出電壓	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
  放電RC值	C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1%
  短路峰值電流Ips	0.67A ± 10 % per kV				ns
  短負(fù)荷上升時(shí)間Trs	2 < Trs < 10				ns
  短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds	1300 < Tds < 1700				ns
  短負(fù)荷振鈴Irs	< 15% of Ips
  500Ω負(fù)載峰值電流Ipr	Ipr/Ips ≥ 63%
  500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr	5 < Trr < 25				ns

  外置人體-金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊

  (根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2009)

  參數(shù)	HMM-24K	單位	備注
  HMM峰值電流	90	A	3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %   IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)
  HMM電流@ 30 ns	48	A	≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30%  )
  HMM電流@ 60 ns	24	A	≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30%  )

  編號(hào)	型號(hào)	描述
  ES612 ESD測(cè)試儀
  1.1	ES612	ES612 ESD 測(cè)試儀控制主機(jī), 大輸出電壓 8 kV / 20 kV,   RS232 SCPI 通訊端口
  1.2	ES612-HBM	人體模型波形發(fā)生模塊（2管腳）
  1.3	ES612-HMM	人體-金屬模型波形發(fā)生模塊（2管腳）
  1.4	ES612-MM	機(jī)器模型波形發(fā)生模塊（2管腳）
  其他配件選項(xiàng)
  2.1	ES62x-PC-HBM	電腦（預(yù)裝脈沖及失效等級(jí)自動(dòng)檢測(cè)軟件）
  2.2	KSMU2400	數(shù)字源表, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于被測(cè)器件DC損傷檢測(cè)）
  2.3	ES62X-CMPS	簡(jiǎn)易手動(dòng)探針臺(tái)
  2.4	ES62X-XYZM-TIM	XYZ 微動(dòng)探針座 – XYZ 行程500 mils，步進(jìn)0.01mm
  2.5	ES62X-XYZM-PAA	PCB 探針臂套件，配備電壓測(cè)量探頭
  2.6	ES62X-XYZM-GAA	接地探針臂套件
  2.7	HBM-TC0.3	0.3 mm Pitch Test Clip
  2.8	HBM-TC2.5	2.54 mm Pitch Test Clip
  2.9	ES62X-XYZM-PP048	048 型號(hào)彈簧探針
  2.10	ES62X-XYZM-PP075	075 型號(hào)彈簧探針
  2.11	ES62X-XYZM-TN1	鎢鋼針