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美國MARCH AP-1000 美國MARCH AP-1000等離子清洗系統

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 美國MARCH AP-1000
  • 產地 美國
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/9/25 13:33:49
  • 訪問次數 1182

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

產地類別 進口 應用領域 能源,電子

AP-1000等離子清洗系統

 

一、功能簡介:

在微電子加工過程中,特別是在芯片貼裝和絲線鍵合的過程中,需要對表面輕微有機污染或氧化物進行清洗,在這種場合下,需要用等離子清洗的方法進行清洗。美國MARCH 公司的等離子清洗設備在以下器件的制造過程中能起到很好地清洗作用:光電器件、微波器件、混合電路、MEMS器件、RF模塊、功率器件、傳感器、半導體器件、LED、分立元器件、納米器件、聲表器件。

 

特征優勢:

觸摸屏的PLC控制,提供了形象的圖形界面和實時過程顯示;

靈活的支架結構允許處理多種部分,在水平或豎直模式下;

13.56MHz的電源具有自動阻抗匹配功能,因此具有出色的過程重復性;

專li的控制軟件系統為統計過程控制產生過程和產品的數據;

 

March AP-1000等離子清洗系統,是專門設計適應24小時生產的嚴格要求的情況。此系統提供統一的等離子體,具有優良的可靠性、安全性及操作簡單等優點。

AP-1000平臺是*獨立的,因此要求小的層空間。泵、處理腔體、電子控制和13.56MHz電源供應都被安裝在一個單一的外殼內。前面開門使得存取組件都很便利。泵安裝在便于拆卸的滾筒上。

 

帶有HTP (高吞吐量)架選項的AP-1000等離子系統結合了可靠性和生產品質,證明March 專li的HTP架的優勢。AP-1000 HTP優化在RF激勵源產生的離子的應用,使在減少過程時間的時候,提高處理的*性。

AP-1000 HTP允許選擇一系列工藝氣體,例如氬氣、氫氣和氦氣等。它裝備4個質量流量控制器以達到jia的工藝氣體控制。

帶有槽的M/G制具垂直安裝在處理腔體中。出色的是,每塊M/G制具可小支撐20個框架。處理腔體多可裝12個M/G制具,這有M/G制具的尺寸決定。



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