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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>光學測量儀>橢偏儀>SEMILAB-SE2000 SEMILAB-SE2000 全光譜橢偏測試平臺

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SEMILAB-SE2000 SEMILAB-SE2000 全光譜橢偏測試平臺

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 SEMILAB-SE2000
  • 產地 匈牙利
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/9/25 13:26:13
  • 訪問次數 1603

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,生物產業,石油,電子

SEMILAB-SE2000 全光譜橢偏測試平臺
(Spectroscopic Ellipsometer Metrology Station)

產品描述

SE2000全光譜橢偏測試平臺基于橢圓偏振測試技術,采用良好的旋轉補償器,結合光纖專li技術將偏振光信號傳輸至分段光譜優化的高分辨率單色儀或陣列式多通道攝譜儀,測得線偏振光經過樣品反射后的偏振態變化情況,并通過樣品光學模型的建立,計算出單層或多層薄膜結構的厚度、折射率和消光系數,實現精確、快速、穩定的寬光譜橢偏測試。

SE2000全光譜橢偏測試平臺是Semilab針對產線和實驗線推出的多功能高速測試平臺。模塊化的設計,可選配300mm樣品臺或350*450mm平板樣品臺,Robot上片系統,圖形識別系統和數據通信系統,實現高速在線監控。在測試功能方面,可自由組合多種從190nm深紫外光譜至2400nm近紅外光譜的探測器,并可拓展FTIR紅外光譜測試模組、渦電流法非接觸式或4PP接觸式方塊電阻測試模組、Mueller Matrix各項異性材料測試模組、Raman結晶率測試模組、電子遷移率表征模組、LBIC光誘導電流測試模組、反射干涉測試模組等多種功能,使SE2000成為光學和電學特性表征綜合測試系統。

產品特點

業界第yi家光譜型橢偏儀測試設備廠商

業界標準測試機構定標設備,參與發布中華人民共和國橢圓偏振測試技術標準

業界寬測試光譜范圍,選配190nm-25um,并可自動切換快速探測模式和高精度探測模式

配置實時對焦傳感器,實現高速測量

選配Robot上片系統,圖形識別系統和數據通信系統,實現在線監控

*的樣品臺結構設計,優化固定大尺寸的柔性材料

模塊化設計,可綜合監控樣品光學和電學特性

定期免費升級SOPRA材料數據庫

開放光學模型擬合分析過程,方便用戶優化測試菜單

主要應用

光伏行業:薄膜電池透明導電膜、非晶硅微晶硅薄膜電池、CIGS薄膜電池、CdTe薄膜電池、有機電池、染劑敏感太陽能電池

半導體行業:High-K、Low-K、金屬、光刻工藝、半導體鍍膜工藝、外延工藝

平板顯示行業:TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色濾光片

光電行業:光波導、減反膜、III-V族器件、MEMS、溶膠凝膠

主要技術指標:SEMILAB-SE2000 全光譜橢偏測試平臺

測試速度:<1 sec (快速測試模式)
               <120 sec (高分辨率測試模式)

測量光譜分辨率:<0.5nm@633nm (高分辨率測試模式)
                        <0.8nm@633nm

 

 

 

 

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