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主動防震臺/主動隔振臺/主動減震臺/電子顯微鏡、光學顯微鏡主動隔振臺

Herz/Herzan/Table Stable/AVI200/400/600S/LP AVI200/400/600M/LP AVI200/400/600XL/LP

大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺，輪廓儀防震臺，電子天平防震臺，超快激光系統防震臺，時頻系統防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震

特點：

為各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺，輪廓儀防震臺，電子天平防震臺，超快激光系統防震臺，時頻系統防震臺，大型半導體設備防震臺（光刻機），激光設備主動防震

性能優勢 

o 系統主動檢測輸入振動并動態消除

o 六個空間方向的自由隔振

o 系統內部反饋回路抑制所有機械共振

o 低頻隔振性能

o 無低頻共振、無空氣要求

主動式隔/防/減震臺-AVI應用對象：

• SEM                      

• TEM

• UHV-SPM                 

•   光刻

• 光譜測量                  

• 高精度測量

• 其他高精密儀器

傳遞率（隔震效果）：

主動式隔/防/減震臺-AVI產品參數：

相關產品TS系列應用：桌面式主動隔振臺TS140/TS140+40/TS150/TS300系列應用

掃描探針顯微鏡隔振（STM）
掃描電子顯微鏡隔振(SEM)
掃描近場光學顯微鏡SNOM隔振
激光共聚焦顯微鏡隔振
干涉儀隔振
納米壓痕儀隔振
納米光刻儀隔振
精密天平隔振
薄膜測厚儀橢偏儀隔振
生物物理測量隔振
單分子測量隔振
細胞操作隔振
膜片鉗隔振
IVF隔振