BD/HMDS-6090 HMDS涂膠烘箱(真空)
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京中科博達儀器科技有限公司
- 品牌 中科博達
- 型號 BD/HMDS-6090
- 產地 北京
- 廠商性質 其他
- 更新時間 2024/12/12 15:31:26
- 訪問次數 5346
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 能源,電子,航天,汽車,電氣 |
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一、HMDS真空涂膠烘箱規格:
型號:BD/HMDS-6090內形尺寸:450×450×450
型號:BD/HMDS-6210內形尺寸:560×640×600
1、控溫范圍:RT+10~250℃
2、溫度分辨率:0.1℃
3、溫度波動度:±1℃
4、達到真空度:小于133Pa
5、真空度:100Pa~100000Pa
6、定時范圍:1~9999min
7、工作室材料:316L
8、樣品架:2塊、3塊
9、真空泵:4L/S
10、電源電壓:220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制
11、總功率:3000W、4500W
三、產品特點:
1、外殼采用冷軋鋼板制造,表面靜電噴塑。內膽、樣品機、連接管路均采用優質不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防dan雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。
四、HMDS預處理系統操作流程:
1、首先確定烘箱工作溫度;
2、預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真牢度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應;
4、當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。
五、控制系統:
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,三菱PLC控制器;
2、富士微電腦雙數顯溫度PID控制器,控溫精確可靠;
六、保護系統:
1、漏電保護;
2、超溫保護;
3、缺液保護;
七、設備使用條件:
1、環境溫度:5℃~+28℃(24小時內平均溫度≤28℃)
2、環境濕度:≤85%R.H
3、操作環境需要室內通風良好,機器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八、HMDS真空涂膠烘箱服務承諾:
保修十八個月,免費送貨上門,在對該設備安裝調試結束后,在用戶現場對相關技術人員免費做相應的操作培訓,人數不限。
型號:BD/HMDS-6090內形尺寸:450×450×450
型號:BD/HMDS-6210內形尺寸:560×640×600
二、技術參數:
1、控溫范圍:RT+10~250℃
2、溫度分辨率:0.1℃
3、溫度波動度:±1℃
4、達到真空度:小于133Pa
5、真空度:100Pa~100000Pa
6、定時范圍:1~9999min
7、工作室材料:316L
8、樣品架:2塊、3塊
9、真空泵:4L/S
10、電源電壓:220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制
11、總功率:3000W、4500W
三、產品特點:
1、外殼采用冷軋鋼板制造,表面靜電噴塑。內膽、樣品機、連接管路均采用優質不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防dan雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。
四、HMDS預處理系統操作流程:
1、首先確定烘箱工作溫度;
2、預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真牢度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應;
4、當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。
五、控制系統:
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,三菱PLC控制器;
2、富士微電腦雙數顯溫度PID控制器,控溫精確可靠;
六、保護系統:
1、漏電保護;
2、超溫保護;
3、缺液保護;
七、設備使用條件:
1、環境溫度:5℃~+28℃(24小時內平均溫度≤28℃)
2、環境濕度:≤85%R.H
3、操作環境需要室內通風良好,機器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八、HMDS真空涂膠烘箱服務承諾:
保修十八個月,免費送貨上門,在對該設備安裝調試結束后,在用戶現場對相關技術人員免費做相應的操作培訓,人數不限。