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AERA FC-R7800 AERA FC-R7800系列質量流量控制器

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AERA FC-R7800

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真空泵,控制器,探頭

應用領域 醫療衛生,環保,化工,生物產業,石油

 AERA FC-R7800系列質量流量控制器具備優異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE*電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。 

 AERA FC-R7800系列質量流量控制器特點 
  ◆高精度 
  ◆高信賴和可靠性 
  ◆耐腐蝕設計 
  ◆采用金屬密封材質 
  ◆VCR、Swagelok互換的氣路接口 
  ◆10SCCM-200SLM滿量程范圍 
  ◆方便的互換性 
  ◆高速應答**的統一性,目前世界上有大約7萬只在運行中的產品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽◆方 
  ◆方便的互換性 

 

性能指標FC-R7800CD/FC-R7800D系列
 
FC-R7810CD/FC-R7810D系列
 
FC-R7820CD/FC-R7820D系列
 
滿量程范圍
 
10Sccm-5SlmN/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
35-200Slm
響應時間滿流量的±2%范圍內,小于2秒滿流量的±2%范圍內,小于3秒
精度≤±1%滿量程≤±2%滿量程
線性鍍≤滿量程±0 5%≤滿量程±0 5% #1≤滿量程±1%
重復性                          ≤滿量程±0.2%
泄漏率                            1X10E-11 Pa.m ³/sec
控制范圍                          滿流量的2%-5%  #2
壓差49Kpa-275Kpa
 
69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
147Kpa-275Kpa
 
正常工作壓
                           490Kpa
 
**進氣壓力                           980Kpa
 
溫度范圍
 
                           5-45℃(41-113℉)
 
輸入電源
 
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 200mA
功率3.1W max3.5W max
輸入信號0-5 VDC
輸出型號0-5 VDC
控制閥形式常開或常閉電磁閥
密封件金屬密封
材質316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)
標準接口1/4"VCR和Swagelok兼容3/8"VCR,1/4"VCR
重量1.0KG2.7KG


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