ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，是80年代發(fā)展起來的新的元素分析測試技術(shù)。它以*的接口技術(shù)將ICP的高溫電離特性與四級桿質(zhì)譜的靈敏快速掃描的優(yōu)點相結(jié)合而形成一種新型的元素和同位素分析技術(shù)，可分析地球上所有金屬元素。ICP-MS技術(shù)具有高靈敏度、低檢出限，分析速度快，線性范圍寬，多元素同時分析等傳統(tǒng)分析技術(shù)*的*性，取代了電感耦合等離子體光譜技術(shù)（ICP-OES）、石墨爐原子吸收（GFAAS）、分光光度計等儀器分析技術(shù)。目前的ICP-MS廣泛應(yīng)用于環(huán)境、半導(dǎo)體、醫(yī)學(xué)、生物、冶金、石油、核材料等領(lǐng)域的分析。

ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀分析試樣包括：

A、環(huán)境試樣：如淡水、海水、巖石、土壤、污泥、固液廢棄物等

B、半導(dǎo)體的各種材料、試劑的痕量污染物分析：如試劑中痕量金屬元素分析，高純金屬的雜質(zhì)元素分析等

C、食品分析：如奶粉、煙、酒、飲料、油、大米、小麥、肉類、魚類、火鍋底料等

D、其他分析：紡織品、化妝品、玻璃鍍層，陶瓷釉料，橡膠塑料等物質(zhì)中的金屬元素分析

E、樣品中同位素比值分析