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CNI v3.0-200 臺式納米壓印機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 CNI v3.0-200
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/3/12 10:13:53
  • 訪問次數(shù) 2601

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實驗設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實驗室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

一、納米壓印機的工作原理

納米壓印技術(shù)通過物理壓印的方式,將模板(模板表面具有納米級圖案)的微結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到目標(biāo)材料表面,主要分為以下兩種主流工藝:

 

1. 熱壓印(Thermal NIL)

步驟:

加熱軟化:將聚合物材料(如PMMA、SU-8等)加熱至玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上,使其軟化。

壓印成型:用硬質(zhì)模板(如硅、石英)在高壓下壓入軟化的聚合物,形成納米結(jié)構(gòu)。

冷卻脫模:降溫固化聚合物后,分離模板,保留納米圖案。

特點:工藝簡單、成本低,但高溫可能限制對熱敏感材料的應(yīng)用。

 

2. 紫外光固化壓印(UV-NIL)

步驟:

涂覆光刻膠:在基材表面旋涂紫外光固化膠(低粘度樹脂)。

壓印曝光:用透明模板(如石英)壓合膠層,同時紫外光照射固化膠體。

脫模與刻蝕:分離模板后,通過刻蝕去除殘留膠層,得到納米結(jié)構(gòu)。

特點:室溫操作、分辨率高(可達<50nm),適合精密器件制造。

 

納米壓印優(yōu)勢:

超高分辨率:超越傳統(tǒng)光刻的物理衍射極限。

低成本:無需復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng),適合大面積圖案化。

材料兼容廣:可加工金屬、聚合物、玻璃等多種基材。

 

 

二、納米壓印機技術(shù)特點

    CNI v3.0系列納米壓印機是一款專為實驗室開發(fā)的即插即用,兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能,而且可以快速的實現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印。UV蓋和連接器的壓印腔室,控制模塊,用于自動控制壓印過程(壓力,溫度,UV曝光等),壓印室可實現(xiàn)真空兼容,低至1mbar。

★1.1承載基片:≤210mm的各種基片,高度20mm;

1.2壓印真空度:1mbar;

1.3加熱溫度:最高溫度250℃;

1.4最大壓力:≥5bar;

1.5 UV波長:4個組合的LED光源,波長365nm,組合光的功率可達到11.6W,LED光源的溫度被實時檢測,擁有過熱保護功能;

1.6 UV最大功率:≥11,600mW

1.7 印章載體:1個可更換的直徑為210 mm的加熱元件,還可以用作壓印腔中的印模承載平臺,能夠在高達250℃的溫度下進行熱壓印;

1.8 壓印軟件:運行CNI 軟件,該軟件控制壓印過程中的所有內(nèi)容(壓力,溫度,紫外線照射,時間等)

 

三、納米壓印機的應(yīng)用

納米壓印技術(shù)憑借其高分辨率和低成本特性,廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

 

1.半導(dǎo)體與集成電路

制造高密度存儲芯片(如NAND閃存、MRAM)。

光子集成電路(如硅光器件、光柵耦合器)。

優(yōu)勢:替代傳統(tǒng)EUV光刻,降低優(yōu)良制程成本。

 

2.光學(xué)器件與顯示技術(shù)

增強現(xiàn)實(AR)衍射光波導(dǎo)。

液晶顯示(LCD)導(dǎo)光板微結(jié)構(gòu)。

超表面透鏡(Metalens)的納米天線陣列。

優(yōu)勢:實現(xiàn)復(fù)雜光學(xué)結(jié)構(gòu)的低成本批量生產(chǎn)。

 

3.生物醫(yī)學(xué)與傳感器

微流控芯片(Lab-on-a-Chip)的納米通道。

表面增強拉曼散射(SERS)基底。

生物分子檢測的納米孔陣列。

優(yōu)勢:高精度結(jié)構(gòu)提升檢測靈敏度與特異性。

 

4.新能源與柔性電子

鈣鈦礦太陽能電池的納米陷光結(jié)構(gòu)。

柔性電子(如可穿戴傳感器)的導(dǎo)電圖案。

透明導(dǎo)電膜(如銀納米線網(wǎng)格)。

優(yōu)勢:兼容柔性基材(PET、PI),支持卷對卷(R2R)工藝。

 

5.防偽與裝飾

包裝的全息防偽標(biāo)簽。

奢侈品表面的納米紋理裝飾(如抗指紋、啞光效果)。

優(yōu)勢:微結(jié)構(gòu)可定制化,難以復(fù)制。




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