CV-1000/CV-2000系列輪廓儀表面粗糙度測量的技術參數：
X1軸
測量范圍:100mm或200mm
檢測方法:線性編碼器
驅動速度:80mm/s
移動方向:向后
直線度:(0.05+L/1000)μm(S4,H4,W4型)
0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)
Z2軸(立柱)垂直移動:300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅動速度:0-30mm/s、外加手動
檢測器
CV-1000/CV-2000系列輪廓儀范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用測頭選件)
檢測方法:無軌／有軌測量
測力:4mN或0.75mN(低測力型)
測針針尖:金剛石、90o/5μmR(60o/2μmR:低測力型)
導頭曲率半徑:40mm
檢測方法:差動電感式

驅動器(X軸)和立柱(Z2軸)均配備了高精度線形編碼器(其中Z2軸上為ABS型)。因此，在垂直方向對小孔連續自動測量、對較難定位部件的重復測量的重復精度得以提高。