DMD無掩膜光刻機
- 公司名稱 上海昊量光電設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2021/9/10 9:50:25
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上海昊量光電設備有限公司
Aunion Tech Co., Ltd
專業源自專注 專注成就未來
自2008年成立以來，昊量光電專注于光電領域的技術服務與產品經銷，致力于引進guo外*先進性與創新性的光電技術與可靠產品，為國內Z前沿的科研與工業領域提供優質的產品與服務，助力中國智造與中國創造! 目前，昊量光電已經與來自美國、歐洲、日本的多家光電產品制造商建立了緊密的合作關系。其代理品牌均處于相關領域的發展前沿，產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、精密光學元件等，所涉足的領域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究與國防等。
昊量光電堅持“專業源自專注，專注成就未來”的經營理念。近年來，我們專注于前沿的細分市場，為量子光學、生物顯微、物聯傳感、精密加工、先進激光制造等領域的客戶提供系統解決方案。
作為一家以技術溝通與技術服務見長的高科技企業，我們所有的銷售與技術服務團隊成員都具有理工科方面的專業背景，并在公司接受相關領域的專業培訓，在售前技術溝通、售后產品安裝培訓、產品問題解決、軟硬件增值服務等方面為客戶提供更加專業化的服務！我們專業高效的商務與物流部門憑借多年積累的貿易經驗與規范化的制度流程，保障每一筆訂貨準時安全到達目的地，免除客戶的后顧之憂！
秉承誠信、高效、創新、共贏的核心價值觀，昊量光電堅持以誠信為基石，憑借高效的運營機制和勇于創新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創造價值，實現各方共贏！
立足于光電產業，昊量光電始終堅持價值創造與創新，贏得客戶與合作伙伴的認可，不斷拓展業務領域的新邊疆，立志打造的代理服務品牌！
激光器調制器,激光測量加工設備,光學部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統掃描系統,探測器光子計數器,專用實驗設備,相機
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
|---|
DMD無掩膜光刻機無需制造掩膜，采用DMD數字掩膜,可在抗蝕劑內曝光所希望的任意圖案。無掩膜光刻機可以讀取任何CAD數據，除此之外DMD式無掩膜光刻機還可以讀取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式。DMD式無掩膜光刻機使用365nmLED光源，降低價格的同時實現了穩定的曝光。采用10倍物鏡，一次曝光面積可達1mm´0.6mm，曝光時間僅需1s。結合電動移動平臺，可實現曝光拼接，分辨率可達到3mm。可通過公司編寫的軟件完成詳細設定，使操作簡潔方便。
DMD無掩膜光刻機與傳統的光刻機不同，AU-PALET光刻機采用DMD數字掩膜光刻技術，無需制造掩膜。大大降低了時間和成本。無掩膜光刻機可以讀取任何創建的CAD文件，直接進行光刻。除了CAD文件，還可以讀取豐富的其它格式的數據，例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。
AU-PALET DMD式無掩膜光刻機采用短波段的LED燈為光源，相對于其它的光源，擁有更高的穩定性和更長的壽命，降低價格的同時實現了穩定的曝光。AU-PALET 無掩膜光刻機為面曝光，采用10倍的物鏡，一次曝光面積可達到1mm´0.6mm，結合電動平移臺可實現曝光拼接，可達到更大的曝光面積。可通過公司編寫的軟件完成簡單操作和詳細設定，操作簡潔方便。
設備有限公司推出的DMD式無掩膜光刻機有兩種。
① AU-PALET是一款快速光刻的無掩膜光刻機。本裝置采用375nm的LED光源，實現了穩定的曝光，并且擁有更高的穩定性和更長的壽命。采用10´的物鏡曝光面積達到1mm´0.6mm，光刻分辨率達到5mm，并在10s 內完成曝光。
②
②AU-PALET_new 是AU-PALET的升級版本，在光源上采用波長更短的365nm的LED燈作為光源，采用10´的物鏡曝光面積達到1mm´0.6mm，光刻分辨率達到3mm，并在1s 內完成曝光。
u 主要特點
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高速度（1s）
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廣范圍（1´0.6mm）
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365nm LED光源
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高分辨率 （3mm）
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成本低
u 主要應用
磁性薄膜等的任意形狀的圖案的形成
傳感器，半導體器件的制作
MEMS器件的試制、
光電子，LED的試制
微流體器件的試制
掩膜版制作
細胞分離通道等的制作
光波導路的制作
主要參數
| 型號 參數 | AU-PALET | AU-PALET_new |
| 光源 | 375nm LED | 365nm LED |
| 光刻分辨率（使用10倍物鏡） | 5 mm | 3 mm |
| 曝光面積（使用10倍物鏡） | 1mm´0.6mm | 1mm´0.6mm |
| 平臺 | 手動XYZq平臺 | 手動XYZq平臺 |
| 構成 | 裝置本身，電腦， 軟件 | 裝置本身，電腦， 軟件 |
| 外形尺寸 | 420(W) x 300(D) x 600(H) | 300(W) x 450(D) x430(H) |
| 選項 | 2x鏡頭，電動平臺等 | 2x鏡頭，電動平臺等 |
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