微焦點X射線透視裝置 Xslicer SMX-6000
采用微焦點X射線發(fā)生裝置與高靈敏度平板檢出器且?guī)в蠧T功能的X射線檢查裝置。
透視模式和CT模式之間順暢的切換操作能夠快速完成透視觀察或截面觀察。
另外，設備采用了可實現*自動化校正與高速CT掃描&重建的（Xslicer）系統(tǒng)。
通過沒有變形的，放大倍速而且具有高清晰度的圖像
能夠對電子器件等平板形狀樣品的細微內部結構和缺陷進行觀察。

微焦點X射線透視裝置 Xslicer SMX-6000

輔助檢查的驅動系統(tǒng)

• 高速XYZ載物臺
• 通過±180°的旋轉·0–60°傾斜結構可迅速到達檢查點

搭載了焦點X射線發(fā)生裝置

• 搭載了管電壓160KV·1µm分辨率 開放管X射線發(fā)生裝置。
• 實現了高壓發(fā)生器一體化，無需進行高壓電纜維護。
• 自動調整功能，使更換燈絲更簡單。

 Xslicer SMX-6000

*的安全性

• 通過屏蔽X射線的防護措施來防止X射線泄露。
• X射線檢出器的周圍搭載了碰撞感知傳感器，當緊急情況發(fā)生時（樣品快要碰到檢出器時）系統(tǒng)停止驅動系統(tǒng)運行。
• 正門鎖的設計，可讓正門在X射線發(fā)射時處于關閉狀態(tài)。另外，通過互鎖設計，當門處于開啟狀態(tài)時能夠保證不發(fā)射X射線以及驅動系統(tǒng)不運行，從而確保安全。
• 根據樣品高度設置軟件限位功能可防止樣品與平板檢出器發(fā)生碰撞