技術指標

載物臺(常規晶圓載物臺）

  尺寸

6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12"

  材質

不銹鋼

  平整度

≤±2.5μm

  真空區域*

0，2"，4"，6"環形吸附（可選真空微孔吸附）**

  真空控制

手動控制，獨立真空區域

  真空驅動方式

真空泵

  載物臺電性能

載物臺信號導通，可選擇接地或接信號

* 根據載物臺尺寸有所不同，如載物臺尺寸為12"，則真空吸附區域為0，2"，4"，6"，8"，12"。

** 除環形吸附外，還可選微孔式吸附式載物臺。

載物臺移動基座

  X-Y軸行程范圍*

6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程。同軸結構。

  精度

≤5μm

  R軸粗調角度范圍

360°

  R軸細調角度范圍

±9°

  微調精度

0.0001°/deg

  Z軸細調行程范圍

13mm

  細調精度

1μm

  Z軸快升行程

0~6mm, 可調

  Z軸往復精度

<1μm

  載物臺快速拖出行程

100mm

*根據載物臺尺寸不同，行程有所不同，如載物臺為12"，則X-Y移動行程為12"*12"。

** 載物臺X-Y為同軸結構，兩操作旋鈕為同軸一體結構，用戶單手可方便操作。

探針座放置平臺

  材質

鋼，表面沉鎳處理

  平臺板尺寸*

可放置8個CM50或4個RF50探針座

  平臺板至載物臺高度

1.496”(38mm)

  探針座兼容性

可兼容磁力或真空吸附底座的探針座

  Z軸細調行程范圍

45mm

  Z軸快升行程

350μm

  Z軸往復精度

<1μm

*此處為6"探針臺可放置的探針座數量 ，更大尺寸探針臺詳詢客服人員。

顯微鏡移動基座

  X-Y軸行程范圍

2"*2"(50mm* 50mm)，同軸結構

  X-Y軸精度

≤5μm

  調焦行程

2"(50mm)

  精度

1μm

  Z軸粗調行程

50mm

  氣動升降行程

40mm

技術指標

光學系統

  類型

金相顯微鏡、體視或單筒顯微鏡可選

  光學放大倍數*

15X-2000X

* 根據所選物鏡或顯微鏡放大倍數不同會有不同的光學放大倍數，詳細請咨詢客服人員。

其它信息

  臺體尺寸

724mm*606mm*610mm（W*D*H）

  重量

120kg

加熱載物臺(可選項）

  尺寸

6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12"

  溫度范圍

室溫~300℃

  溫控精度*

0.5℃（典型值）

  溫度均勻性

0.5℃@6"載物臺

  加熱時間

<6min（室溫~300℃）

標準配置的加熱臺為自然冷卻，可選風冷或水冷套件。

RF載物臺(可選項）

  尺寸

6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12"

  校準片載物臺

2個（獨立真空控制）

  尺寸

可放置CS-5等尺寸的校準片

  校準片載物臺角度調節范圍

7°

  材質

不銹鋼

  平整度

≤±2.5μm

  真空驅動方式

真空泵

其它擴展配件(可選項）

  探針卡夾具

可根據探針卡尺寸定制，應用于多點或自動測試

  激光器

1064nm，532nm，355nm，三個波段自由配置，對芯片線路進行切割修改。

  半自動控制系統

實現晶圓小批量半自動測試需求

設備環境要求

  電源

220V±10%

  真空

-8bar

  壓縮空氣

0.6MPa