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J51200/ZF主要技術參數

晶片加工尺寸：8〞

刀片尺寸：Ф５0～Ф76.2mm

Y軸：

1．zui大行程：220mm

2．進給速度：50mm/secMAX

3．zui小步距：0.001米mm

4．定位精度：±0.0025mm （電機分辯率: 0.0002mm）

X軸：

1．zui大行程：280mm

2．進給速度：0.1～300mm/sec（電機分辨率: 0.1 mm/s）

Z軸：

1．zui大行程：15mm

2．進給速度：7mm/sec ( 分辯率: 0.0002mm)

θ軸：

1．旋轉范圍：0～225°

2．顯示增量：1°

3．分辨率：0.0002°

4.旋轉速度:2.2秒轉90°

主軸：

1．旋轉范圍：3，000～40，000r/min

2．功率：1.5KW

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