儀器特點(diǎn)

◆ 三軸CNC控制系統(tǒng)，全自動測量；

◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng)；

◆ 全鼠標(biāo)、手柄操作，簡單易用；

◆ 可程控8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源；

◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；

◆ Vispec全自動影像測量軟件（經(jīng)濟(jì)版）；

◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、432、542等。

技術(shù)參數(shù)

型號 VME222

VME322

VME432

VME542

行程(mm)

200×200×200

300×200×200

400×300×200

500×400×200

外部尺寸(mm)

1040×700×1620

1040×700×1620

1240×800×1620

1440×900×1620

重量(kg)

150

160

200

250

承重(kg)

25

25

25

25

測量精度

XY軸*

E2=(3.0+L/200)µm

E2=(3.5+L/200)µm

Z軸**

E1=(5.0+L/200)µm

速度

XY軸

200mm/S

Z軸

100mm/S

光柵尺

1.0µm分辨率

CCD

SONY 1/2"CCD 黑白/彩色

光源

輪廓光

LED冷光源，256級亮度可調(diào)

表面光

1環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨(dú)立操控，256級亮度可調(diào)

光學(xué)系統(tǒng)***

6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326

軟件

Vispec測量軟件（經(jīng)濟(jì)版）

運(yùn)動控制

自主的CNC直流伺服系統(tǒng)

保修期

1年

工作環(huán)境

溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%

振動<0.002g，低于15Hz

電源

220V/50Hz/10A